Принцип действия оптико-эмиссионной спектрометрии: атомы образца возбуждаются энергией, возникшей из появившейся искры между образцом и электродом.

Искровая энергия заставляет электроны образца выделять свет, который преобразуется в спектр. Измеряя максимальную интенсивность этого спектра, Oxford Instruments ОЭС анализаторы могут определить качественный и количественный состав металлов и сплавов с высокой точностью.